高压厚膜SOI-LIGBT器件关键技术
读者对象:本书适合功率半导体器件与集成电路领域内的科研、生产、教学人员阅读和参考
本书共7章:首先介绍了厚膜SOI-LIGBT器件的工作原理,分析了器件的耐压、导通、关断原理;然后围绕高压厚膜SOI-LICBT器件的关键技术,研究了高压互连线屏蔽技术、电流密度提升技术、快速关断技术三大类技术,分析了u型沟道电流密度提升技术、双沟槽互连线屏蔽技术、复合集电极快速关断技术等9种技术;围绕高压厚膜S0I-LIGBT器件的鲁棒性,研究了关断失效、短路失效、开启电流过冲、低温特性漂移;最后,探讨了厚膜SOI-LIGBT器件的工艺和版图。本书内容基于过去8年单片智能功率芯片国产化过程中的创新设计和